در صنعت تولید نیمه هادی بسیار دقیق ، آب فقط یک ماده کمکی نیست بلکه "خون حیات صنعتی" است که در کل فرآیند تولید انجام می شود. خواسته های شدید بر کیفیت آب باعث ایجاد یک سیستم دقیق و پیچیده مدیریت منابع آب در صنعت شده است. برای درک این سیستم ، ابتدا باید اجزای اصلی آن را به روشنی تعریف کرد-سه شکل اساسی آب. می توان گفت که این مدیریت تصفیه شده و تبدیل کارآمد این سه نوع آب است که زیربنای عملکرد پایدار کل صنعت و یک پیشرفته استسیستم اسمز معکوس نیمه هادیسنگ بنای فن آوری برای دستیابی به همه اینها است.
I. "سه گانه آب" در تولید نیمه هادی
مدیریت منابع آب در فرآیند تولید نیمه هادی می تواند به صورت شهودی به سه جنبه به هم پیوسته تقسیم شود: آب فرآیند ، فاضلاب فرآیند و آب پس گرفته شده. با هم ، آنها یک سیستم پویا و دایره ای تشکیل می دهند.
1. آب را پردازش کنید
"فرآیند آب" به آب تأمین شده مستقیم به خطوط تولید نیمه هادی اشاره دارد تا نیازهای فرآیند خاصی را برآورده کند. بر اساس برنامه های بسیار متفاوت و سطح خلوص آن ، می توان آن را به سه دسته تقسیم کرد:
آب Ultrapure (UPW):این اوج هرم مدیریت منابع آب نیمه هادی است. خلوص آن به مراتب بیش از هر آبی است که در زندگی روزمره با آن روبرو می شویم ، تقریباً همه یون ها ، ترکیبات آلی ، میکروارگانیسم ها و ذرات برداشته می شوند. کاربرد اصلی آن شستشوی مکرر سطوح ویفر در طی فرآیند تولید تراشه است. هرگونه ناخالصی دقیقه می تواند باعث نقص کشنده در یک تراشه شود. بنابراین ، تهیه آب Ultrapure با کیفیت بالا برای تولید نیمه هادی یک پیش نیاز مهم برای اطمینان از عملکرد محصول است.
آب عمومی صنعتی:این نوع آب عمدتاً برای کاربردهایی که شامل تماس مستقیم با تراشه نیست ، مانند تجهیزات خنک کننده و حفظ محیط گیاه استفاده می شود. الزامات کیفیت آن نسبتاً ملایم است ، اما برای جلوگیری از مقیاس بندی تجهیزات یا خوردگی ، هنوز هم نیاز به درمان مناسب دارد.
آب خانگی:برای تأمین نیازهای روزانه کارمندان در این مرکز ، استانداردهای آن به طور کلی با منابع آب شهرداری سازگار است.
2. فاضلاب فرآیند
"فاضلاب فرآیند" ، همانطور که از نام آن پیداست ، آب "دور ریخته شده" از فرآیند تولید است که حاوی انواع مختلفی از آلاینده ها است. منابع اصلی آن شامل فرآیندهای تمیز کردن ویفر و آب اسکراب تولید شده در هنگام تصفیه گازهای اگزوز تجهیزات است. این فاضلاب یک ترکیب پیچیده دارد و باید یک سری فرآیند تصفیه دقیق را برای از بین بردن مواد شیمیایی و آلاینده های جامد قبل از آنکه به مرحله بعدی ادامه دهد ، انجام دهد.
3. آب پس گرفته شده
"آب احیا شده" تجسم مستقیم مفهوم بازیافت منابع آب است. این اشاره به فاضلاب فرآیند است که تحت درمان پیشرفته قرار گرفته است تا کیفیت آن را به یک استاندارد مناسب برای استفاده مجدد بازگرداند ، از این طریق مجدداً برای کاربردهای صنعتی تهیه می شود. در دوره ای از افزایش کمبود آب ، توانایی تبدیل فاضلاب از "زباله به یک منبع" نه تنها بازتاب مسئولیت محیطی شرکت ها بلکه یک استراتژی اساسی برای اطمینان از ثبات زنجیره تأمین و دستیابی به توسعه پایدار است.
ii. فن آوری های اصلی برای دستیابی به Ultrapurity و احیا
از آب منبع معمولی گرفته تا آب اولتراپور که حاوی اثری از ناخالصی نیست ، و از فاضلاب پیچیده گرفته تا آب بازیافت پذیر ، این سری از تحولات قابل توجه به حمایت از فن آوری های تصفیه آب برش متکی است. در میان اینها ، سیستم های تصفیه متمرکز بر فناوری معکوس اسمز (RO) نقش مهمی دارند.
یک سیستم تصفیه آب فوق العاده کارآمد به طور معمول چندین فناوری را ادغام می کند ، و آب Ultrapure را تولید می کند که از طریق لایه های تصفیه و تصفیه ، استانداردهای سختگیرانه را رعایت می کند. در زمینه احیای فاضلاب ، سیستم اسمز معکوس نیمه هادی نیز به همین ترتیب یک پایه اصلی است. از فشار زیاد برای مجبور کردن مولکول های آب از طریق یک غشای نیمه قابل قبول استفاده می کند و اکثریت قریب به اتفاق آلاینده ها را حفظ می کند و از این طریق آب تمیز شده را تولید می کند.
به عنوان یک شرکت با سالها تجربه عمیق در بخش تصفیه آب ، محیط زیست Taihe دارای تخصص عملی گسترده ای در مناطقی مانند جداسازی غشای تخصصی و استفاده از منابع فاضلاب است و به شدت اهمیت ساختمان سیستم های تصفیه آب پایدار و کارآمد را درک می کند. ما متعهد هستیم که راه حل های جامع ، از طراحی فرآیند گرفته تا ادغام سیستم ، به صنایع پیشرفته کمک کنیم تا از طریق ترکیب های پیشرفته فناوری ، بازیافت تمیز و کارآمد منابع آب را بدست آورند. ساختن یک سیستم آب فوق العاده قابل اعتماد نیاز به کنترل دقیق و درک عمیق از هر مرحله از فرآیند تصفیه آب دارد.
در پایان ، تعریف و طبقه بندی صنعت نیمه هادی نشان دهنده پیگیری بی امان آن از تعالی در فرآیندهای تولید است. سفر چرخه ای از آب فرآیند و فاضلاب به آب بازپس گیری در هر مرحله توسط یک چارچوب فن آوری قوی پشتیبانی می شود. با نگاهی به آینده ، از آنجا که فرآیندهای تولید تراشه همچنان در حال تحول هستند ، خواسته های مربوط به کیفیت آب حتی سختگیرانه تر می شوند. پایدار و کارآمدسیستم اسمز معکوس نیمه هادیبه عنوان یک فناوری اصلی که از خون حیات این صنعت پیشرفته استفاده می کند ، نقش غیر قابل تعویض را بازی خواهد کرد.